雖然臭氧安全無毒，但作為一種強氧化物質，濃度超過1.5mg/L對人體是有損害的。臭氧在污水處理領域是主要有兩種作用：一是氧化有機物等物質，二是消毒滅菌；在化工廢水處理工程中，由于化工廢水高濃度污染物質量大，在這里應用臭氧主要發揮前者作用，城市污水因其含微生物、細菌、病毒較多，一般采用臭氧進行滅火。

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化工污水處理中采用的臭氧氧化技術，可用和許多物質進行反應，包括COD、LAS、NH4-N、其他無機物等，多數在氧作用條件下不能去除的物質，臭氧可以很輕松的解決，這取決于其僅次于氟的高的強氧化性能。影響臭氧氧化法處理效果的主要因素除污染物的性質、濃度臭氧投加量、溶液值、溫度、反應時間外，投加方式亦很重要，臭氧投加通常在混合反應器中進行。混合反應器可以促進氣、水擴散混合、充分接觸并迅速反應，同時密閉的反應器可以保證臭氧不會散發，致使污水站人員中毒。設計混合反應器時要考慮臭氧分子在水中的擴散速度和與污染物的反應速度，保證臭氧的高利用率。

臭氧消毒滅菌法相比其他方法具有高效性、高潔凈性、方便性以及經濟性。其高效體現在滅菌種類多，能克服紫外線死角多的缺點，擴散性高；其高潔凈性體現在臭氧可以被自然分解為氧氣，不產生二次污染；其方便性體現在操作可自動化；其經濟性體現在制藥行業和醫療衛生單位的使用上。

污水站采用臭氧工藝的，在運行過程中，當發現臭氧濃度高于1.5mg/L，工作人員須離開現場。操作人員需有安全意識，確保安全使用臭氧。

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